技术编号：35873026
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及复合涂层制备技术领域，具体涉及一种基于渗氮层基体表面相组成调控高效沉积制备非晶碳膜的方法及其应用。背景技术.类金刚石(dlc)薄膜是一种具有低摩擦系数、高耐磨性和化学惰性的硬质涂层。这种非晶碳膜作为固体润滑膜非常有吸引力，但是，由于涂层内的高内应力以及和基材之间的热膨胀系数差异大等原因导致其在使用过程中容易从基材脱落，严重制约了其实际应用。渗氮是一种广泛应用于金属表面的强化技术，高硬度的渗氮表层可以显著改善工件的耐磨性。梯度的硬度分布使渗氮层具有优异的承载能力和疲劳性能，然而，传...
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