技术编号：35872946
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及薄膜沉积技术领域，尤其涉及一种薄膜沉积设备、一种减振连接器，以及一种薄膜沉积设备的组装方法。背景技术.半导体行业要求高精度的控制，任何微小的振动都有可能对镀膜质量产生不利的影响。然而，半导体器件的薄膜沉积设备中通常设有大量气管、液管及其管道开关器件。这些阀门的开关和气液的运动停止都会产生振动，并通过主体框架传递到工作腔内的加热台上，从而影响高精度镀膜的质量。.为了克服现有技术存在的上述缺陷，本领域亟需一种薄膜沉积技术，用于吸收主体框架上各种阀门及气液管道内部流体的动作产生的微振...
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