技术编号：35872789
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种抽拉装置及其使用方法、涂胶显影设备。背景技术.在半导体生产中，主要生产设备是光刻机和涂胶显影机，这两种设备是联线作业方式进行生产的。大规模集成电路生产线对涂胶显影机的要求是，适应工艺生产及高产能的要求、占地面积小、维护方便、操作便捷、运行费用低、工艺拓展窗口大。.目前，大规模集成电路生产线上，与光刻机联线作业的涂胶显影设备(track)通常是由片盒站、工艺站和接口站等串接组成。其中，片盒站主要包括晶片盒、传片机器人；工艺站包括涂胶模块、显影模块和热处...
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