微观装置的制造及其处理技术-凯发k8天生赢家

一种mems器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法.本发明涉及mems器件，具体涉及一种mems器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法。.mems器件是利用微电子机械系统(mems)技术制造的微型可移动元器件，包括传感器、驱动器、mems开关等，具有低成本和...

.本发明属于芯片封装技术方向，具体涉及一种多功能影像光感封装设备。.目前，光学传感器在消费电子类的应用越来越广泛，如手机、智能手表、智能手环等，利用光学传感器，可以实现接近光检测、环境光检测、心率检测、血氧检测、手势识别等，其基本原理是led芯片发出特定波长的光线，该光线到达待测物体后，会...

.本发明属于游动纳米机器人，具体涉及一种葡萄糖氧化酶驱动游动纳米机器人及其制备方法。.游动纳米机器人是指在流体中能够将周围环境中的化学能或光、电、磁等能量转化为自身机械运动的纳米系统。游动纳米机器人的大小通常在微纳米尺度，处于低雷诺数区，由于粘滞效应的存在导致游动纳米机器人无法维持...

一种用于原子传感器的mems封装及吸气剂激活装置及方法.本发明属于mems封装及吸气剂激活，更具体地，涉及一种用于原子传感器的mems封装及吸气剂激活装置及方法。.原子传感器一般工作温度在℃以内，为降低原子传感器功耗，需要对其组件进行隔热和真空封装以便降低功耗，涉及的组件耐...

.本申请涉及微电子和微机电系统，具体涉及一种集成反应键合体系及制备方法，利用局域热源实现微米尺度键合。.微机电系统是将微机械元件、传感元件、信号处理元件及执行元件集成于一体的微系统。随着微机电系统的发展，封装和键合的要求也越来越苛刻。用于微机电器件的常用键合技术有直接键合、阳极键合...

mems器件的制造方法.本发明涉及微机电系统制造，尤其涉及一种mems器件的制造方法。.mems(microelectromechanicalsystems，微机电系统)器件(如麦克风、扬声器、加速度计、陀螺仪、微镜等)在加工制造过程中通常采用薄膜空腔结构，很多mem...

.本发明涉及传感器封装，特别涉及一种无引线封装的压力传感器。.mems压力传感器是传感器中用量最广的一类产品，其封装类型主要包含to封装、塑料封装、陶瓷封装、充油隔离封装等，这些封装中的压力传感器芯片电极引出都通过金丝(也称为引线)键合的方式，这种方式的优点是工艺成熟，键合效率高，...

.本发明属于超滑材料制备的，特别涉及抗剪切、耐高温、抗结冰、高效持久的雾水收集能力的超滑表面的制备方法。.受猪笼草的光滑表面启发制备了超滑表面，猪笼草的光滑表面由亲水成分和微观粗糙结构组成，可以储存水以形成用于捕获昆虫的润滑水膜。为了模仿这种现象，许多研究人员制造了“液体注入”的超...

仪表板；de-汲极；dru-驱动单元；du-可拉伸显示单元；e、e-侧边；el、el-电极；ge-闸极；gl-玻璃；igl-内玻璃；in、in、in、in、bf、inl-绝缘层；is-岛状部分；k、k-高斯曲率；le-发光元件；m、m、m、m-金属层；m-制造方法；ogl-外玻璃；op、op-开口...

mems快门和包括mems快门的设备.本公开涉及包括平移屏蔽结构的mems(微机电系统)光学快门，以及相关的制造工艺。.如已知的，如今配备有改进的相机模块的可移动电话是可用的，该改进的相机模块保证了到目前为止与专业相机的性能水平相当的性能水平。这样的模块包括越来越大且具有越来越高的...

一种d-mems探针及其制备方法.本发明属于微电子机械系统(mems)加工工艺，具体涉及一种d-mems探针及其制备方法。.近年来，mems(微电子机械系统)加工技术飞快发展，其在探针制备领域应用广泛。目前，相关领域普遍通过mems加工技术制作相关的d探针产品，但d探针的制...

.本发明涉及侵入式神经接口，具体涉及一种皮层内植入式微针电极阵列装置的生产工艺及装置。.植入式微针电极阵列是指可以植入生物体大脑皮层内部的，以微针电极阵列为载体采集脑内神经元发出的动作电位或神经元集群产生的局部场电位的一种侵入式神经电极。相较于非侵入式的体表电极和半侵入式的大脑皮层...

一种双振动模式的单芯片mems三维电场传感器.本发明涉及微传感器及电场检测，特别涉及一种双振动模式的单芯片mems(microelectromechanicalsystem，微机电系统)三维电场传感器。.在气象领域，电场传感器用于探测太阳辐射、雷雨、台风、海啸等气象的...

一种mems环行器的批量共晶工装及方法.本申请属于mems环行器生产，尤其涉及一种mems环行器的批量共晶的工装及方法。.环行器是雷达收发组件前端的核心器件，传统的小型化微带环行器损耗较大，功率容量小。大大降低了收发组件的发射功率及探测精度，严重影响雷达系统的整机性能。me...

.本发明涉及半导体领域，具体涉及一种符合设计目标的复合膜形成方法及半导体器件。.在半导体器件制造过程中，薄膜沉积是一道常见的工序，有些半导体器件结构中的薄膜为多层复合结构，通常被称为“复合膜”。复合膜为多个单层薄膜依次层叠构成，为确保形成的复合膜满足设计要求，半导体器件制造过程中，需要严格...

用于mems器件的系统和方法.本公开总体上涉及微机电系统(mems)，并且更具体地涉及用于mems器件的系统和方法。.微机电系统(mems)包括通常包含通过电信号控制的移动零件的显微器件。数字微镜器件(dmd)是包括微镜组件的阵列的mems器件的一个特定示例，每个微镜组件包括可被旋...

.本发明涉及功能化纳米材料，具体涉及一种转移纳米森林结构的方法。.现有的纳米森林结构普遍由较为复杂的生长工艺或刻蚀工艺形成，因此对基底要求较高，目前只能够在有限的几种基底上制备，无法应对实际应用中在某些基底(如金属材料基底)上制备纳米森林结构的需求，大大限制了纳米森林结构的应用场景...

压电微机电系统(mems)结构及其形成方法.本申请的实施例涉及压电微机电系统(mems)结构及其形成方法。.微机电系统(mems)器件通常具有膜，膜是可移动的柔性结构。膜足够薄，使得它们可以振动。为了使膜振动，在膜中形成薄通孔，使得气流可以通过。通孔设计得较小，使得气体泄漏减少。发...

高度填充的反式-开环聚环辛烯—石墨烯复合材料、其制备方法及其用途.本发明涉及一种制备具有高填充度的反式-开环聚环辛烯(polyoktenamer)—石墨烯复合材料的方法，涉及高度填充的反式-开环聚环辛烯—石墨烯复合材料本身及其用途。.石墨烯及其制备、性能和应用在专业文献中有详细讨论...

.本发明属于微纳制造领域，涉及一种准周期微纳结构的图案化制备方法。.自然界的各种生物经过长时间的进化，每一种生物都拥有着近乎完美的结构与功能，能够适应复杂的生存环境。每一种生物都是一座天然的宝藏等待着研究者去发掘与利用。加利福尼亚大学的marcandrémeyers提出大多数生物的功能并...